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美国从中作梗 传荷兰ASML暂停对中国厂商供应EUV光刻机

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美国从中作梗 传荷兰ASML暂停对中国厂商供应EUV光刻机

火星网友 发表于 2019-11-8 09:21:55 浏览:  8558 回复:  0 [显示全部楼层] 复制链接
荷兰ASML公司是全球EUV光刻机的唯一供应商,Intel、三星、台积电等公司都要依赖它。中国的中芯国际去年也订购了一台EUV光刻机用于研究7nm及以下的先进工艺,不过消息称ASML已经暂停对中国供应EUV光刻机,背后又是美国从中作梗。

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据外媒报道,ASML去年4月份收到了中国最大的晶圆代工厂中芯国际的订单,订购了一台EUV光刻机,价值超过1.2亿欧元,差不多是10亿人民币了,预计今年底交货,2020年正式安装。

国内晶圆厂目前量产的最先进工艺还是28nm,中芯国际的14nm工艺取得了突破,但是目前还没大规模量产,还在客户导入阶段。

EUV光刻机主要用于7nm及以下的先进工艺,中芯国际订购EUV光刻机主要是研究开发,而且只有一台,并不会用于大规模生产。

即便如此,报道称ASML公司迫于美国的压力也暂停交付中芯国际这台EUV光刻机,因为他们不想让美国感到不安,毕竟ASML有多达1/5的零件来自于美国工厂,其中光刻机核心的光源系统就是美国公司供应的。

不过另一方面,ASML也不希望这件事让中国公司及客户感到不安,因为中国市场是全球半导体设备增长最快的市场,ASML公司去年有19%的销售额都是来自于中国公司,是ASML重要客户。

转载自联合时报

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